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真空蒸着とは、真空中で金属や金属酸化物などの成膜材料を加熱して、溶融・蒸発または昇華させて、基材や基板の表面に蒸発、昇華した粒子(原子・分子)を付着・堆積させて薄膜を形成する技術をいいます。

・高真空での成膜で高純度
・成膜材料の大量蒸発が得られ、成膜速度が速い
・蒸着エネルギーが熱のみのため付着力はやや弱い
・抵抗加熱では低融点の成膜材料に適します

・プラスチック樹脂全般